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Graphenea最近推出了石墨烯代工服务 - GFAB。该公司将在高达6英寸的石墨烯晶圆上制造定制电路设计。该服务旨在实现快速设备原型设计和加速新应用的开发,降低基于石墨烯的解决方案的进入壁垒。
Graphenea推出新的代工服务
Graphenea表示,鉴于市场需求,该报价现在包括小批量(1-3个晶圆)。光刻掩模可由Graphenea制造或由客户提供。 GFAB包括石墨烯生长,在4“和6”晶片上的转移,金属接触沉积和剥离,以及具有蚀刻的石墨烯光刻。
金属触点在石墨烯边缘上制成,以获得最佳性能,由Ni / Al制成。可获得的最小特征尺寸为5μm。切割包含在价格中。基板可以是标准的Si / SiO2晶片,或客户所需的任何定制基板(与该过程中使用的化学品和温度相容)。
这些设备通过了Graphenea对所有样品实施的严格质量控制,包括拉曼光谱,光学显微镜和电气测试。这种石墨烯代工服务是市场上的第一个,是石墨烯商业化和扩散的决定性步骤。
GFAB是该公司提供的石墨烯薄膜价值链的另一个补充,到目前为止,包括在铜上生长的石墨烯,准备转移(使用PMMA涂层),转移到标准或定制基板,并图案化成GFET用于传感器。
(文章源于graphene-info网,由石墨烯材料网 www.91shimoxi.com 翻译编辑整理)
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