石墨烯NEMS开关用于静电放电保护应用。

来自加利福尼亚大学河滨分校和加利福尼亚大学洛杉矶分校的研究已经展示了一种用于静电放电（ESD）保护应用的新型IC石墨烯NEMS开关。

石墨烯NEMS开关用于静电放电保护应用

该石墨烯ESD开关是双端子器件，在底部的导电基板和顶部的悬浮石墨烯膜之间具有间隙，用作放电路径。这一新概念为片上ESD保护提供了一种潜在的革命性机制。

“与基于PN结的传统ESD器件相比，”这项研究的作者Qi Chen博士说，“石墨烯ESD开关具有许多优点，它是一种无源机械开关，因此理想情况下它具有零泄漏和最小寄生电容;此外，它还显示出双极性ESD性能，而基于PN结的器件只能用于单极性保护，这可以大大减少ESD器件的磁头数量;此外，石墨烯表现出优异的热性能和机械性能;最重要的是，该器件可以通过3D异构集成在CMOS后端制造，而不是占用具有核心IC的大芯片区域。

研究人员开发了一种CMOS兼容工艺，用于在洁净室中制造石墨烯NEMS ESD开关，并以传输线脉冲（TLP）为特征。 Qi表示，该器件为下一代片上ESD保护应用带来了巨大希望。