总部位于美国的工艺设备制造商Veeco Instruments最近宣布，紫外短波长发光二极管（UV-C LED）研究公司CrayoNano订购了Propel Power Nallium Nitride（GaN）金属有机化学气相沉积（MOCVD） ）系统。CrayoNano将使用该系统在石墨烯上生长半导体纳米线，用于水消毒，空气净化，食品加工和生命科学应用。

CrayoNano是一家纳米技术公司，专门开发基于石墨烯基板上的半导体纳米线的光电器件。该公司源自挪威科技大学（NTNU）在特隆赫姆的多年研究。该公司旨在通过基于在石墨烯上生长纳米线的独特方法的技术来改变UV LED市场。

Veeco的Propel Power GaN MOCVD系统能够以批量模式处理单个200 mm晶圆或更小（例如，2英寸）的晶圆。该系统基于Veeco的TurboDisc技术，包括IsoFlange和SymmHeat技术，可在每个晶圆上提供均匀的层流和均匀的温度分布，最大尺寸可达200 mm。

“Propel Power GaN系统是沉积先进的GaN基结构的最佳选择，包括在石墨烯基板上的复杂半导体纳米线，具有严格的工艺要求，”Veeco的高级副总裁，MOCVD总经理说。“我们的Propel系统提供业界领先的统一性和工艺周期时间，因此与其他技术相比可提供卓越的生产力。作为全球领先的MOCVD系统供应商，我们期待为CrayoNano及其研究活动提供支持。”